HPSP

당사는 고유전율(High-K) 절연막을 사용하는 트랜지스터의 계면 특성 개선을 위한 고압 수소 어닐링(High Pressure Annealing, HPA) 장비의 연구·개발, 제조 및 판매를 전문으로 하고 있습니다. 주요 제품인 GENI-SYS는 반도체 전공정에 사용되는 고압 수소 어닐링 장비로, 글로벌 반도체 업체의 미세공정에 필수적으로 적용되고 있습니다.